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手套箱手套的安裝與維護(hù)

初次安裝手套箱請(qǐng)先將手套套在手套口上面，然后分別將內(nèi)外密封圈安裝，安裝后檢查一下，確定密封圈均在凹槽內(nèi)。

如果在使用過程中發(fā)現(xiàn)手套破損，應(yīng)及時(shí)更換，步驟如下：

1.把要替換的手套推倒箱體內(nèi)；

2.摘除掉外部的O型圈，再移動(dòng)里面的O型圈致手套口外部槽上；

3.把手套卷到外面的O型圈邊，注意不要讓手套從手套口上掉下來；

4.盡可能地壓縮新的手套，趕出里面的空氣；

5.把新的手套安裝到手套口上，套在舊手套上；

6.在新手套外部，手套口里面的槽上安裝O型圈；

7.如果可以，把新手套放入隔離開的工作氣體環(huán)境中清潔（這樣能大程度去除空氣，減少進(jìn)入手套箱體內(nèi)的空氣量）；

8.從手套箱里面，用另一個(gè)手套把舊手套摘到箱體內(nèi)；

9.在新手套外面，手套口外部的槽上安裝上O型圈；

10.通過過渡艙把舊手套取出，妥善處置。

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手套箱操作過程中的注意事項(xiàng)

1、手套箱系統(tǒng)工作中真空泵應(yīng)保持開啟狀態(tài)。

2、當(dāng)箱內(nèi)氧氣濃度超出200PPM時(shí)，應(yīng)通知設(shè)備維修人員進(jìn)行系統(tǒng)操作，否則會(huì)破壞水、氧凈化系統(tǒng)。

3、在手套箱啟動(dòng)循環(huán)前做檢查，是否在進(jìn)行箱體情況或再生。如以上提及的操作正在進(jìn)行，肯定禁止進(jìn)行循環(huán)。

4、兩個(gè)凈化柱不可以同時(shí)再生。

A、再生前先保證手套箱內(nèi)已被惰性氣體清洗干凈(H2O<200ppm)保證足夠的再生氣體供應(yīng)。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。

B、手套箱啟動(dòng)再生之前，請(qǐng)先確認(rèn)相應(yīng)的凈化柱循環(huán)已關(guān)閉。

C、手套箱再生過程需要24小時(shí)，一旦執(zhí)行不能被斷開，再生開始后3-6小時(shí)通再生氣體注意再生氣的用量，適當(dāng)調(diào)整再生氣體的壓力，保證再生氣在這3小時(shí)的充足供應(yīng)，第6小時(shí)后可以關(guān)閉再生來源。

D、手套箱再生進(jìn)程中真空泵不可以關(guān)閉，不要觸摸凈化柱的頂部，以防燙壞。

E、再生一旦意外終止，請(qǐng)保證12小時(shí)內(nèi)不能重新啟動(dòng)該凈化柱的再生和循環(huán)否則將損壞設(shè)備。

5、手套箱作業(yè)中應(yīng)注意保護(hù)作業(yè)手套不要被損壞。

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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機(jī)薄膜和金屬電極，薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機(jī)真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置有機(jī)材料的蒸發(fā)舟，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機(jī) 材料；在金屬真空腔室中設(shè)有多個(gè)放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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